多级爪式干式真空泵是上世纪末快速发展成熟的新型(变容积)真空泵，由于其如下突出优点:泵腔内无油、对被抽容器没有油污染、并能直排大气、单泵就能达到3 Pa等，在电子行业得到了非常广泛的应用，替代了油封机械泵以及滑阀真空泵。由于其性能卓越而越来越广泛的应用于航天、核工业、化工、制药、环保等行业，并呈逐年上升的趋势。其主要的结构型式有螺旋型和反爪式，其结构各有优势，相比较而言反爪式比螺旋型优势更明显。但由于其结构限制，泵的抽速目前基本上只做到小于600 M 3小，不能够满足化工和制药等大抽速的需要。
     深圳市创舰科技发展有限公司结合以上两种结构的优势，推出螺旋反爪结构，达到更少材料、更低能耗、更好维护、更大抽速的效果，而且能适合化工、制药、环保等领域的需要。
1传统经典爪式泵的工作原理
     （1)单级爪泵的工作原理:
     如图1所示，在图la位置A腔和进气口4接通，随着转子对的同步反方向运动A腔容积变大，气体就吸入泵内，B腔内的气体也在转子对的作用下得到了逐渐压缩，我们称为吸气过程;图1b位置A腔容积继续变大，继续吸气，同时，B腔的容积在转子对的同步反方向运动下逐渐变小，运动到和排气口接通的位置气体通过排气口排到下一级，这个过程一直会持续到图lc位置，吸气和排气同时进行，简称为吸排气过程;在图lc位置A腔达到了最大容积，吸气结束和B腔的容积达到了最小，排气结束。转子挡住了进气口和排气口，起到了自动关闭的作用;在图1d位置随着转子的运转，B腔内没有被排出去的气体和A腔内被吸入的气体混合到了一起，既不吸气也不排气，我们称为过渡过程;
     不间断重复以上3个过程，达到了连续不间断抽真空的目的，由于泵腔内无需用水或油等介质，有如下的优势:能抽各种化学气体、特殊不锈钢材料制做的爪泵还能抽腐蚀性气体。在航天、制药、化工、核工业等行业得到了广泛的应用。